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| 甬江實驗室采購化學(xué)機械拋光機（金屬）等設(shè)備項目（重招）國際招標(biāo)公告(*) |
| 公告次數(shù)：* |
| 發(fā)布日期：****-**-** |
寧波中基國際招標(biāo)有限公司受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標(biāo)，于****年**月**日在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
*. 招標(biāo)條件
項目概況：甬江實驗室因發(fā)展需要，需采購化學(xué)機械拋光機（金屬）設(shè)備、等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備、高深寬比磁控濺射設(shè)備各*套。
資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經(jīng)落實。
項目已具備招標(biāo)條件的說明：項目已具備招標(biāo)條件。
*. 招標(biāo)內(nèi)容：
招標(biāo)項目編號：****-****CBNB****
招標(biāo)項目名稱：甬江實驗室采購化學(xué)機械拋光機（金屬）等設(shè)備項目（重招）
項目實施地點：中國浙江
招標(biāo)產(chǎn)品列表（主要設(shè)備）：
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序號 |
貨物名稱 |
數(shù)量 |
簡要技術(shù)規(guī)格 |
備注 |
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化學(xué)機械拋光機（金屬）設(shè)備 |
*套 |
將待拋光晶圓在一定的分區(qū)下壓力及拋光液(由超細(xì)磨料顆粒、化學(xué)氧化劑和表面活性劑等液體介質(zhì)組成的混合液)的作用下相對于一個拋光墊作旋轉(zhuǎn)運動，借助磨粒的機械磨削及液體介質(zhì)的腐蝕作用來選擇性完成對晶圓表面金屬材料（Ti、TiN、Ta、TaN、W、TiW、Cu等）去除，并獲得光潔表面。 |
/ |
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* |
等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備 |
*套 |
借助微波或射頻使氣體電離，局部形成等離子體，在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。 |
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* |
高深寬比磁控濺射設(shè)備 |
*套 |
使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層（Ti或Ta）及電鍍種子層（Cu），防止金屬與Si相互擴散的同時作為后續(xù)電鍍孔內(nèi)填充金屬的導(dǎo)電層。 |
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*. 投標(biāo)人資格要求
*.*特定資格條件：
*.*.*投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權(quán)書；
*.*本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
*.*未領(lǐng)購招標(biāo)文件不可以參加投標(biāo)。
*. 招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間：****年*月**日，上午：*:**-**:** ；下午：**:**-**:**。
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間：****年*月**日**:**（北京時間）
招標(biāo)文件領(lǐng)購地點：寧波中基國際招標(biāo)有限公司（寧波鄞州區(qū)天童南路***號中基大廈**樓前臺，聯(lián)系人：李小姐，聯(lián)系電話：****-********,電子郵箱：*********@qq.com）；或在線購買，購買地址鏈接：https://dwz.cn/BzVsB**Q(此鏈接僅限于人民幣支付）
招標(biāo)文件售價：每標(biāo)段售價***元人民幣或**美元，售后不退(郵購須另加**元人民幣[國內(nèi)]或**美元[國外])。
特別提示：供應(yīng)商付款后應(yīng)及時將匯款底單直接傳真或發(fā)郵件至我司前臺標(biāo)書發(fā)售人員，并在底單上注明需要購買標(biāo)書的項目編號、聯(lián)系人、手機號及郵箱，如未按此要求操作，供應(yīng)商將有可能不能及時收到招標(biāo)文件，請給予配合。
*. 投標(biāo)文件的遞交
*.*投標(biāo)截止時間（開標(biāo)時間）：****年*月**日*時**分（北京時間）
*.*投標(biāo)文件送達(dá)地點： 甬江實驗室(寧波市鎮(zhèn)海區(qū)慈海南路****號*號樓***會議室） 。
*.*開標(biāo)地點： 甬江實驗室(寧波市鎮(zhèn)海區(qū)慈海南路****號*號樓***會議室 ） 。
*. 投標(biāo)人在投標(biāo)前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)（https://www.ebnew.com）或機電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。評標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國國際招標(biāo)網(wǎng)公示。
*. 聯(lián)系方式
招標(biāo)人：甬江實驗室
地址：寧波市鎮(zhèn)海區(qū)慈海南路****號
聯(lián)系人：孫老師
聯(lián)系方式：****-********
招標(biāo)代理機構(gòu)：寧波中基國際招標(biāo)有限公司
地址：寧波市鄞州區(qū)天童南路***號中基大廈**樓
聯(lián)系人：陳沖、方巧飛
聯(lián)系方式：****-********、********、********（傳真），chenchong******@***.com
異議（質(zhì)疑）聯(lián)系人：陳俊****-********
*. 匯款方式
招標(biāo)代理機構(gòu)開戶銀行（人民幣）：中國工商銀行寧波鼓樓支行
招標(biāo)代理機構(gòu)開戶銀行（美元）：中國工商銀行寧波鼓樓支行
賬號（人民幣）：*******************
賬號（美元）：*******************
賬號（日元）：*******************
賬號（歐元）：*******************
銀行地址：中國浙江省寧波市中山西路***號
開戶名稱：寧波中基國際招標(biāo)有限公司
swift代碼：ICBKCNBJNBO
行號（人民幣）：************
*.其他補充說明
*.*投標(biāo)人遞交投標(biāo)文件方式：現(xiàn)場遞交方式或郵寄遞交方式。
（*）采用郵寄方式遞交投標(biāo)文件，需按以下要求遞交： 投標(biāo)人須在****年*月**日**：**前將投標(biāo)文件郵寄至規(guī)定地點，由招標(biāo)代理機構(gòu)工作人員進行簽收。各投標(biāo)人自行考慮郵寄在途時間，郵寄過程中無論何種因素導(dǎo)致投標(biāo)文件未按時遞交的后果，均由投標(biāo)人自行負(fù)責(zé)。投標(biāo)文件遞交時間以招標(biāo)代理機構(gòu)實際收到投標(biāo)文件的時間為準(zhǔn)。遲到的投標(biāo)文件將被拒收。請各投標(biāo)人確保密封包裝在郵寄過程密封包裝完好，因郵寄過程的密封破損造成不符合開標(biāo)要求的，本招標(biāo)代理機構(gòu)概不負(fù)責(zé)。 投標(biāo)文件郵寄地址為：寧波中基國際招標(biāo)有限公司（寧波市鄞州區(qū)天童南路***號中基大廈**樓）。 收件人：陳沖 聯(lián)系方式：***********
