招標(biāo)公告

深硅刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金來源自籌資金，出資比例共為100%。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受淮海工業(yè)集團(tuán) （招標(biāo)人）的委托，對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機(jī)

1.2 招標(biāo)編號：0779-24400724A005

1.3設(shè)備技術(shù)要求：

1)設(shè)備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機(jī)、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕；

3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

5)硅-玻璃鍵合片(硅結(jié)構(gòu)有背腔)，在暴露面積≥30%時(shí)，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現(xiàn)象;

6)工控系統(tǒng)基于 Windows7 及以下版本的操作系統(tǒng)；

7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時(shí)，氨氣流量≤5sccm。

1.4 數(shù)量：1臺

1.5 交貨期：合同簽訂后12個(gè)月內(nèi)

1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場：山西省長治市潞州區(qū)淮海工業(yè)集團(tuán) 。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商應(yīng)獲得制造商的有效授權(quán)，須提供正本（制造商的有效授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關(guān)境內(nèi)的獨(dú)資公司開具的；或經(jīng)制造商授權(quán)并允許其再授權(quán)的單位開具的）。

2.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

3. 招標(biāo)

4.

未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（）上注冊會員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊。登錄成功后的在招標(biāo)會員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
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編輯：365trade