對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2024-01-12在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:甬江實(shí)驗(yàn)室因發(fā)展需要，需采購(gòu)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（金屬）設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備、高深寬比磁控濺射設(shè)備各1套。資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:項(xiàng)目所需資金已經(jīng)落實(shí)。項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0762-2441CBNB2001招標(biāo)項(xiàng)目名稱:甬江實(shí)驗(yàn)室采購(gòu)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（金屬）等設(shè)備項(xiàng)目項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)浙江省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格	備注
1	化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（金屬）設(shè)備	1套	將待拋光晶圓在一定的分區(qū)下壓力及拋光液(由超細(xì)磨料顆粒、化學(xué)氧化劑和表面活性劑等液體介質(zhì)組成的混合液)的作用下相對(duì)于一個(gè)拋光墊作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，借助磨粒的機(jī)械磨削及液體介質(zhì)的腐蝕作用來(lái)選擇性完成對(duì)晶圓表面金屬材料（Ti、TiN、Ta、TaN、W、TiW、Cu等）去除，并獲得光潔表面。
2	等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備	1套	借助微波或射頻使氣體電離，局部形成等離子體，在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO2、SiNx、SiON、P-doped SiO2、Ge-doped SiO2、BPSG、FSG等薄膜。
3	高深寬比磁控濺射設(shè)備	1套	使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層（Ti或Ta）及電鍍種子層（Cu），防止金屬與Si相互擴(kuò)散的同時(shí)作為后續(xù)電鍍孔內(nèi)填充金屬的導(dǎo)電層。

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):3.1.1投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對(duì)本項(xiàng)目的授權(quán)書；是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
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