對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2023-12-04在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:上海交通大學擬采購1套大面積掃描電子顯微成像分析，可對納米結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸進行精確的測量，并可對晶圓表面以及納米結(jié)構(gòu)進行缺陷復(fù)檢資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內(nèi)容招標項目編號:0773-2341SHHW0111招標項目名稱:上海交通大學大面積掃描電子顯微成像分析系統(tǒng)項目實施地點:中國上海市招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	大面積掃描電子顯微成像分析系統(tǒng)	1套	★2.1.7提供激光干涉工作臺，該工作臺的移動范圍不小于150 x 150 x 20mm， 其中XY方向的分辨率不大于1nm?！?.1.7 Configure a laser interferometer stage with a movement range of no less than 150 x 150 x 20mm, with a resolution of no more than 1nm in the XY direction。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”	交貨期：簽訂合同后12個月內(nèi) 交付 郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā) 5、投標文件的遞交投標截止時間（開標時間）:2023-12-26 09:30投標文件 評標結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和 公示。7、聯(lián)系方式招標人:上海交通大學地址:上海市閔行區(qū)東川路800號

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