招標(biāo)公告

混合離子束濺射薄膜沉積系統(tǒng)項目已具備招標(biāo)條件。資金來源為專項資金，中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1貨物

1.2招標(biāo)編號：0779-23400903A021。 

1.3主要功能要求:混合離子束濺射薄膜沉積系統(tǒng)主要由高真空系統(tǒng)、離子束濺射系統(tǒng)、基片裝載和運動系統(tǒng)，、基片加熱系統(tǒng)、光學(xué)膜厚控制系統(tǒng)等組成，具備人工操作和全自動薄膜沉積控制功能。

1.4主要技術(shù)要求：

①　真空室極限真空≤2x10-7mbar，真空室漏率≤5.0x10-5 mbar.l/s；

②　雙離子源均為射頻源，其中主離子源離子束直徑≥15cm，最大離子能量>1keV，最大離子束流≥600mA，輔助離子源離子束直徑≥8cm；

③　鍍膜光學(xué)元件要求：最大直徑≥ Φ500mm，重量≥50kg；

④　膜厚非均勻性要求：Φ500mm口徑非均勻性≤±0.5%；

1.5數(shù)量：2套。

1.6交貨期：分批交貨，第一套合同簽訂后10個月完成制造和預(yù)驗收，12個月貨到客戶現(xiàn)場；第二套合同簽訂后13個月完成制造和預(yù)驗收，15個月貨到客戶現(xiàn)場。

1.7 項目現(xiàn)場：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所（四川省成都市雙流縣西南航空港光電大道1號）。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 本次招標(biāo)要求投標(biāo)人為獨立法人單位，并具有與本招標(biāo)項目相應(yīng)的供貨能力，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2 所投產(chǎn)品業(yè)績：投標(biāo)人須提供至少2臺的本次所投產(chǎn)品同類型的設(shè)備銷售業(yè)績，提供銷售合同復(fù)印件。合同內(nèi)容應(yīng)能體現(xiàn)甲乙雙方蓋章或簽字頁、標(biāo)的物名稱、制造商名稱等主要內(nèi)容。

2.3 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須得到制造商同意其在本次投標(biāo)中提供該貨物的正式授權(quán)書。

2.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

3. 招標(biāo)

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為2023年10月08日13時30分，地點為四川省成都市雙流區(qū)劍南大道南段1166號美行中心7樓704室。

4.2逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。

5. 開標(biāo)

開標(biāo)時間同投標(biāo)文件遞交的截止時間，開標(biāo)地點同投標(biāo)文件遞交地點。

6.

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