感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-招標(biāo)公告
(招標(biāo)編號(hào)：0779-21400316A008)
招標(biāo)項(xiàng)目所在地區(qū)： ：0779-21400316A008），已由項(xiàng)目審批/核準(zhǔn)/備案機(jī)關(guān)批準(zhǔn)，項(xiàng)目資金來(lái)源為/， 本項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)進(jìn)行公開(kāi)招標(biāo)。
二、項(xiàng)目概況和招標(biāo)范圍
項(xiàng)目規(guī)模：/ 。
招標(biāo)內(nèi)容與范圍：本招標(biāo)項(xiàng)目劃分為標(biāo)段1 個(gè)標(biāo)段，本次招標(biāo)為其中的：
001 第1包
三、投標(biāo)人資格要求
001 第1包：
1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格，提供有效的營(yíng)業(yè)登記等許可經(jīng)營(yíng)的證明文件。
2 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書(shū)。
3 本次招標(biāo)要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今訂不少于2臺(tái)（套）感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)供貨合同，提供合同復(fù)印件作為證明。
4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
本項(xiàng)目不允許聯(lián)合體投標(biāo)。
四、招標(biāo)文件的獲取
獲取時(shí)間：2021年03月08日09時(shí)00分00秒---2021年03月15日17時(shí)00分00秒
五、投標(biāo)文件的遞交
遞交截止時(shí)間：2021年03月30日09時(shí)30分00秒
六、開(kāi)標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)
開(kāi)標(biāo)時(shí)間：2021年03月30日09時(shí)30分00秒
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn)及方式：/
七、其他公告內(nèi)容
感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金來(lái)源自籌資金。中科信工程咨詢(xún)（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物
1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-21400316A008 1.3 設(shè)備組成與技術(shù)性能： 1.3.1 設(shè)備組成 設(shè)備主要由以下幾部分組成：反應(yīng)腔、下電極、上電極（ICP源）、射頻源、真空系統(tǒng)、預(yù)真空室、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)與軟件、配套附件等。 1.3.2 技術(shù)性能 1.3.2.1 反應(yīng)腔 （1）上、下電極之間的距離可電動(dòng)調(diào)節(jié)、以?xún)?yōu)化工藝； （2）反應(yīng)腔采用雙層進(jìn)氣，配置單獨(dú)的SiH4進(jìn)氣環(huán)。 1.3.2.2下電極 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換，無(wú)需開(kāi)腔、無(wú)需破真空。 1.3.2.3上電極（ICP源） 采用平板式天線。等離子體密度可到1E12 cm-3。 1.4 數(shù)量：1臺(tái)（套）。 1.5 交貨期：合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)交貨。 1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所。 2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求 2.1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格，提供有效的營(yíng)業(yè)登記等許可經(jīng)營(yíng)的證明文件。 2.2 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書(shū)。 2.3 本次招標(biāo)要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今訂不少于2臺(tái)（套）感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)供貨合同，提供合同復(fù)印件作為證明。 2.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。 2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu) 3. 招標(biāo)文件獲取 3.1 支付成功后在航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)自行下載招標(biāo)文件。 3.3 投標(biāo)人必須在航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書(shū)與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見(jiàn)航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)相關(guān)說(shuō)明）。 4. 投標(biāo)文件的遞交 4.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2021年03月30日09時(shí)30分，投標(biāo)人必須在此時(shí)間前將加密的電子版投標(biāo)文件傳至航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)（ /rest/index）并在此時(shí)間前現(xiàn)場(chǎng)遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件。 4.2 紙質(zhì)版投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)為 大樓一層會(huì)議室。逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。 5 備注：非正式會(huì)員請(qǐng)聯(lián)系辦理會(huì)員入網(wǎng)注冊(cè)事宜，并繳費(fèi)成為正式會(huì)員后登錄網(wǎng)站會(huì)員區(qū)可查看招標(biāo)公告、招名方式或下載報(bào)名表格等詳細(xì)內(nèi)容！為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購(gòu)買(mǎi)標(biāo)書(shū)操作流程按公告詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。 咨詢(xún)聯(lián)系人：李工
咨詢(xún)電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機(jī)：13683233285
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來(lái)源：中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)?編輯：365trade.co
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