蒸發(fā)濺射儀項目已具備招標條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物

1.2 招標編號：0779-21400316A006

1.3 設備技術性能：

1.3.1進樣室

（1）進樣室可放置5片直徑150mm的樣品，并可放置5個樣片支架；腔室前開門，易于裝載樣片；

（2）帶有樣品傳輸裝置，雙側線性傳輸臂，手動控制模式，熟練程度下，樣片從放入進樣室到傳入鍍膜主腔室的時間間隔不超過10分鐘。

1.3.2磁控濺射

（1）主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥；在潔凈、干燥環(huán)境下，真空度需≤5×10E-7 Torr。

（2）系統(tǒng)需配備2個3英寸磁控濺射靶槍，濺射靶槍可靈活調節(jié)，根據(jù)用戶需求，可調節(jié)靶槍角度和最佳蒸鍍距離，以達到最佳蒸鍍效果。暗區(qū)屏蔽裝置高度低于靶材表面，減少對輝光區(qū)域的束縛，并降低靶材之外材料被同時濺射出來的幾率，靶材為卡箍式固定方式，方便更換和固定，配有緊湊式圓頂蓋濺射源擋板NdFeB磁陣組合。

（3）系統(tǒng)需配備1個3英寸磁性增強靶，升級版NdFeB磁陣組合，能夠沉積高達0.125英寸厚度的材料，支持非磁性材料和磁性材料工作模式的切換。

1.3.3電子束蒸發(fā)

（1）系統(tǒng)需配備國際一流品牌機械干泵，風冷，無接觸式，氣體抽速不小于21cfm；

（2）系統(tǒng)需配備冷凝泵，抽速不小于1500l/s，可通過設備程序遠程控制冷凝泵的自動再生，從室溫降溫到工作溫度時間不超過3小時。配備8200型氦氣壓縮機，10英尺長氦管；

（3）主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥；在潔凈、干燥環(huán)境下，真空度需≤9×10E-8 Torr。

1.4 數(shù)量：1臺（套）。

1.5 交貨期：合同簽訂后11個月內交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。

2.3本次招標要求所投產品制造商2018年至今簽訂不少于2臺（套）磁控濺射系統(tǒng)或電子束蒸鍍系統(tǒng)供貨業(yè)績合同，提供合同復印件。

2.4 本次招標不接受聯(lián)合體投標。

2.5 投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)自行下載招標文件。

3.3 投標人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)相關說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2021年03月29日14時00分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)（ /rest/index）并在此時間前現(xiàn)場遞交單獨密封的紙質版投標文件。

4.2 紙質版投標文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

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