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中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)公開招標(biāo)公告

   日期:2020-09-27     來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)    作者:dlztb    瀏覽:4    
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    1. 公告信息:
      采購項目名稱 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)
      品目

      貨物/通用設(shè)備/機械設(shè)備/其他機械設(shè)備

      采購單位 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
      行政區(qū)域 上海市 公告時間 2020年09月25日 22:10

      一、項目基本情況
      預(yù)算金額:190.0000000 萬元(人民幣)
      最高限價(如有):190.0000000 萬元(人民幣)
      采購需求:
      二維IC工藝和三維MEMS加工而成的異質(zhì)集成的傳感器表面會有各種臺階、高深寬比的孔洞、槽等結(jié)構(gòu),需要臺階覆蓋能力強的薄膜沉積技術(shù)。此外,由于材料晶格結(jié)構(gòu)、熱膨脹系數(shù)的差異,異質(zhì)集成的襯底不可避免的會出現(xiàn)翹曲,需要保形薄膜沉積技術(shù);圓片級的異質(zhì)集成封裝涉及各種襯底,需要一種新的低溫鍵合技術(shù)。高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)的主要功能為:(1)具有三維保形薄膜沉積能力,具有良好的臺階覆蓋能力,能在高深寬比的孔洞中進(jìn)行薄膜沉積;(2)以沉積的納米薄膜為媒介能實現(xiàn)封裝蓋板和各種異質(zhì)集成襯底之間的低溫鍵合;(3)對200mm晶圓,薄膜厚度不均勻性小于±1%。具體詳見招標(biāo)文件第八章。
      合同履行期限:合同簽訂后6個月內(nèi)。
      本項目( 不接受   )聯(lián)合體投標(biāo)。
      二、申請人的資格要求:
      1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定;
      2.落實政府采購政策需滿足的資格要求:
      節(jié)約能源、保護環(huán)境、扶持不發(fā)達(dá)地區(qū)和少數(shù)民族地區(qū)、促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展、支持監(jiān)獄、戒毒企業(yè)發(fā)展、促進(jìn)殘疾人就業(yè)、優(yōu)先采購貧困地區(qū)農(nóng)副產(chǎn)品等政府采購政策。
      3.本項目的特定資格要求:1)近三年內(nèi)(本項目招標(biāo)截止期前)被“信用中國”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國政府招標(biāo)網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府招標(biāo)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單(處罰期限尚未屆滿的),不得參與本項目;2)單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位,不得參加同一標(biāo)包投標(biāo)或者未劃分標(biāo)包的同一項目。
      三、 (北京時間,法定節(jié)假日除外)

      六、其他補充事宜
      現(xiàn)場購買:有意向的投標(biāo)人可攜帶報名表(詳見招標(biāo)公告附件)、營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件(加蓋公章)、法人代表授權(quán)書原件、被授權(quán)代表身份證(復(fù)印件加蓋公章))至上海市共和新路1301號C座108室進(jìn)行報名
       網(wǎng)上購買:有意向的投標(biāo)人將報名表(詳見招標(biāo)公告附件)、營業(yè)執(zhí)照掃描件、法定代表人(單位負(fù)責(zé)人)授權(quán)委托書原件、委托代理人身份證明(復(fù)印件加蓋公章)的掃描件和購買標(biāo)書登記表(詳見附件)
      招標(biāo)文件售價:每包件售價人民幣 500 元(招標(biāo)文件售后不退)。
      注:我公司只接受公司轉(zhuǎn)賬,不接受個人轉(zhuǎn)賬。
      開戶名:上海中招招標(biāo)
      銀行帳號:0208014210004789
      摘要:STC20A280標(biāo)書費或投標(biāo)保證金
      七、對本次招標(biāo)提出詢問,請按以下方式聯(lián)系。
      1.采購人信息
      名 稱:中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所     
      2.采購代理機構(gòu)信息
      名 稱:上海中招招標(biāo)             
      地  3.項目 電 

      沒有在 中國電力招標(biāo)采購網(wǎng))上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件!

      聯(lián)系人:李楊
      咨詢電話:010-51957458?
      手 機:13683233285?
      傳 真:010-51957412?
      QQ:1211306049?
      微信:Li13683233285
      郵箱:1211306049@qq.com

      來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯:mof.go
       
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