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項目名稱：8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機
招標(biāo)項目編號：0709-244035614012
招標(biāo)范圍：設(shè)備名稱：多晶硅、硅刻蝕機設(shè)備數(shù)量：1臺設(shè)備用途：本設(shè)備主要用于8英寸MEMS器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中單晶硅淺腔、多晶硅薄膜的刻蝕加工。
招標(biāo)機構(gòu)：中國儀器進出口集團有限公司
招標(biāo)人：安徽華鑫微納集成電路有限公司
開標(biāo)時間：2024-04-25 09:30
公示開始時間：2024-05-15 15:50
評標(biāo)公示截止時間：2024-05-16 14:00
中標(biāo)候選人名單：
| 候選人排名 | 投標(biāo)商名稱 | 制造商 | 制造商國別及地區(qū) |
|---|---|---|---|
| 1 | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 | 中國 |
| 2 | 江蘇魯汶儀器有限公司 | 江蘇魯汶儀器股份有限公司 | 中國 |
| 3 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 中國 |
