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8英寸MEMS晶圓生產線之氧化清洗濕臺、標準清洗濕臺、硫酸去膠濕臺、有機去膠濕臺、BOE濕臺 國際招標(2)

   2024-04-29 0
核心提示:蘇美達國際技術貿易有限公司受招標人委托對下列產品及
蘇美達國際技術貿易有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2024-04-29在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:品目1
設備名稱:氧化清洗濕臺
設備數量:1臺
設備用途:本設備適用于八寸晶圓濺射前清洗、氧化清洗、鍵合工藝,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和鹽酸溶液通過化學反應達到清洗晶圓表面的目的。
品目2
設備名稱:標準清洗濕臺
設備數量:2臺
設備用途:本設備適用于八寸晶圓濺射前清洗、氧化清洗、鍵合工藝,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和鹽酸溶液通過化學反應達到清洗晶圓表面的目的。
品目3
設備名稱:硫酸去膠濕臺
設備數量:1臺
設備用途:本設備適用于八寸晶圓光刻膠去除清洗工藝,采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通過化學反應達到光刻膠去除、清洗的作用。
品目4
設備名稱:有機去膠濕臺
設備數量:1臺
設備用途:本設備適用于八寸晶圓聚合物去除工藝,采用EKC溶液和NMP溶液通過化學反應達到去除聚合物和光刻膠的目的。
品目5
設備名稱:BOE濕臺
設備數量:1臺
設備用途:本設備適用于八寸晶圓二氧化硅腐蝕、氮化硅腐蝕工藝,采用HF、NH4F、H3PO4溶液通過化學反應達到腐蝕二氧化硅和氮化硅的目的。
資金到位或資金來源落實情況:已到位
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:0664-2440SUMECF20/02
招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之氧化清洗濕臺、標準清洗濕臺、硫酸去膠濕臺、有機去膠濕臺、BOE濕臺
項目實施地點:中國安徽省
招標產品列表(主要設備):
序號 產品名稱 數量 簡要技術規(guī)格備注
1 氧化清洗濕臺 1 氣壓控制:具有氮氣、CDA、排風具備壓力監(jiān)控功能。其他參數詳見第八章
2 標準清洗濕臺 2 水氣槍:配有進口PP水氣槍。其他參數詳見第八章
3 硫酸去膠濕臺 1 測漏感知:設備底部配有防漏盤和漏液傳感器檢測漏液,防漏盤上的漏液能通過排放端口排走。其他參數詳見第八章
4 有機去膠濕臺 1 移門:有機玻璃移門,配有檢測門開傳感器,具有聯(lián)動互鎖功能。其他參數詳見第八章
5 BOE濕臺 1 定位方式:底部附萬向轉輪與活動式調整腳。其他參數詳見第八章

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業(yè)績:① 投標人如為境內企業(yè),提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書,如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊登記證。
② 投標方可以是設備制造廠商或設備再制造廠商,也可以是設備授權代理商,代理商需具有設備制造廠商的有效授權書。
③ 投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。
④ 投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力(提供承諾書,格式自理)。
⑤ 單位負責人授權書原件。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2024-04-29
招標文件領購結束時間:2024-05-09
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點:蘇美達大廈8樓西側(南京市長江路198號)
招標文件售價:¥3000/$400
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2024-05-22 10:00
投標文件送達地點:蘇美達大廈輔樓3樓開標室
開標地點:蘇美達大廈輔樓3樓開標室
6、投標人在投標前應在必聯(lián)網(https://www.ebnew.com)或機電產品招標投標電子交易平臺(https://www.chinabidding.com)完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯(lián)網和中國國際招標網公示。
7、聯(lián)系方式
招標人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市東海大道888號
聯(lián)系人:陳遜頻
聯(lián)系方式:13906020315
招標代理機構:蘇美達國際技術貿易有限公司
地址:南京長江路198號11樓
聯(lián)系人:江岳峰/朱志云/周翠
聯(lián)系方式:18551719296、025-84531057
8、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):

編輯:chinabidding.c
 
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