在大型真空排氣臺招標文件中對其中存在異議的部分進行技術澄清如下：
第4頁招標內容及范圍中具體要求：
2、主真空極限真空達到10-7Pa量級；（空載）
泵組閥門要求：
（1）預抽真空2200L/S分子泵(進口) +15L/S干泵(進口)組成；
（2）主抽真空為1000L/S離子泵(進口)；
（3）2臺氣動超高真空插板閥DN160（進口）。
3、外真空：10*10-1~10*10-2Pa；
泵組閥門要求：3臺1600L/S分子泵+3臺16L/S直聯(lián)泵和相應閥門組成。
要求壓升率：內真空壓升率：0.0067 Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
熱態(tài)真空度：
內真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10-4
Pa（烘箱500℃保溫10小時）。
外真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于7×10-3
Pa（烘箱500℃保溫5小時）。
第7頁投標人須知前附表第4質量要求：
2、主真空極限真空達到10-7Pa量級；（空載）
3、外真空：10*10-1~10*10-2Pa；
壓升率：內真空壓升率：0.0067 Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
第19頁合同主要條款的一、產品名稱、商標、型號、數(shù)量及金額（第四行、第五行）：
主真空極限真空達到10-7Pa量級；（空載）
泵組閥門要求：
（1）預抽真空2200L/S分子泵(進口) +15L/S干泵(進口)組成；
（2）主抽真空為1000L/S離子泵(進口)；
（3）2臺氣動超高真空插板閥DN160（進口）。
外真空：10*10-1~10*10-2Pa；修改成優(yōu)于1.0×10-3 Pa（空載）
泵組閥門要求：3臺1600L/S分子泵+3臺16L/S直聯(lián)泵和相應閥門組成。
要求壓升率：內真空壓升率：0.0067
Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
熱態(tài)真空度：
內真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10-4
Pa（烘箱500℃保溫10小時）。
外真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于7×10-3
Pa（烘箱500℃保溫5小時）。
第22頁招標項目要求三、技術要求中主要技術參數(shù)要求：
2、主真空極限真空達到10-7Pa量級；（空載）
泵組閥門要求：
（1）預抽真空2200L/S分子泵(進口) +15L/S干泵(進口)組成；
（2）主抽真空為1000L/S離子泵(進口)；
（3）2臺氣動超高真空插板閥DN160（進口）。
3、外真空：10*10-1~10*10-2Pa；
泵組閥門要求：3臺1600L/S分子泵+3臺16L/S直聯(lián)泵和相應閥門組成。
要求壓升率：內真空壓升率：0.0067 Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
熱態(tài)真空度：
內真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10-4
Pa（烘箱500℃保溫10小時）。
外真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于7×10-3
Pa（烘箱500℃保溫5小時）。
8、排氣后設備需電激活：要求1500W功率。（電源另配置）
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來源：中國電力招標采購網(wǎng)?編輯：ecp.cnnc