EMMI微光顯微鏡項目已具備招標條件。資金來源國撥資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受南京電子技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：EMMI微光顯微鏡

1.2 招標編號：0779-24400465A011

1.3設備主要功能：使用InGaAs、激光掃描探測器模塊，對芯片內部多種缺陷（如PN結漏電、ESD損傷、氧化層缺陷等）所發(fā)出的不同波長的微光進行探測，達到定位缺陷的目的。

1.4 數(shù)量：1臺。

1.5關鍵技術指標：

（1）主要功能：

1)*含InGaAs、激光掃描探測器、NIR顯微鏡、8寸探針臺、計算機、控制軟件等；

2）*通過NIR紅外偏光顯微鏡對芯片進行back side穿透性分析，具備正面及背面光子發(fā)光偵測功能；

3）*能夠滿足Si CMOS、GaAs pHEMT、GaN pHEMT等失效芯片的漏電檢測；

4）*具有影像無縫拼接、兩張圖形的自動對比、3D成像、自動影像修復等功能；

5）* 配備探針臺、防震臺及屏蔽箱。

（2）InGaAs探測器：

1)* 波長探測范圍：覆蓋900nm-1700nm；

2)* 像素尺寸：≤30×30μm；

3)* 相機分辨率：≥640×512像素；

（3）激光掃描探測器

1)* 激光功率：≥100mW

2)* 激光波長：位于1400±100nm范圍內

3)* 像素：≥512×512；

1.6交貨期：合同生效后5個月內到貨 。

1.7項目現(xiàn)場：南京電子技術研究所現(xiàn)場。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任的能力。

2.2本次招標接受代理商投標，投標人如果為代理商，應提供貨物制造商出具針對本次投標貨物的授權書。[授權書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關境內的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明）；或經制造商授權并允許其再授權的單位開具的（同時須提供制造商與代理商的授權書）]。

2.3投標人近五年（自2019年11月1日至今，以合同簽訂時間為準）須具有至少1臺類似設備的供貨業(yè)績。有效業(yè)績證明材料以投標文件中合同復印件為準，合同復印件無法體現(xiàn)類似內容的，還須提供合同相關的可體現(xiàn)類似業(yè)績的技術協(xié)議或驗收報告或產品彩頁等專家認可的佐證說明材料，否則不予認可。合同復印件需能體現(xiàn)出：合同簽約主體（乙方可以是所投產品制造商，也可以是該制造商的代理商）、合同標的、設備臺套數(shù)、簽字蓋章頁、合同簽訂時間等主要內容。

2.4 本次招標不接受聯(lián)合體投標。

2.5 投標人必須向招標代理機構

3. 招標

4.

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編輯：365trade