1.1項目概況
青海黃河水電新能源分公司是一家電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè),電子級多晶硅產(chǎn)能3300噸/年。現(xiàn)有電子級多晶硅產(chǎn)品已批量應(yīng)用至3-6英寸、8英寸半導體硅片制造領(lǐng)域,并通過12英寸半導體硅片實驗室測試和小批量供貨。本項目旨在現(xiàn)有電子級多晶硅生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上,借助先進的數(shù)值模擬軟件,對CVD還原爐開展熱場、流場穩(wěn)定性及硅棒致密性研究,主要包括對9對棒還原爐進行三維建模,研究最佳的噴嘴分布、尺寸以及進料配比和電流曲線,研究最穩(wěn)定的流場、熱場,提高還原過程CVD化學氣相沉積的均勻性和穩(wěn)定性,降低電子級多晶硅棒的米花比例,進而提高硅棒致密度和可利用率,同時形成9對棒還原爐建模分析和工藝優(yōu)化技術(shù)方案。
1.2項目招標范圍及要求
1.2.1招標范圍
1.2.1.1青海黃河上游水電開發(fā)有限責任公司新能源分公司現(xiàn)有9對棒還原爐生產(chǎn)裝置基礎(chǔ)上,利用先進的數(shù)值模擬軟件對還原爐內(nèi)熱場、流場穩(wěn)定性及硅棒致密性進行建模分析,模擬項目主要包括9對棒還原爐內(nèi)氣體流動、輻射傳熱、傳導傳熱、對流傳熱、電流棒加熱以及對硅沉積的氣相和表面化學反應(yīng)等內(nèi)容,研究確定最佳的噴嘴分布、尺寸以及進料配比和電流曲線,降低電子級多晶硅棒的雜質(zhì)含量及米花比例,提高硅棒致密度和可利用率,同時形成9對棒還原爐建模分析和工藝優(yōu)化技術(shù)方案。
1.2.1.2研究要求
1.2.1.2.1通過對9對棒還原爐內(nèi)噴嘴建模分析,在不改變還原爐結(jié)構(gòu)、爐內(nèi)噴嘴布置及電源系統(tǒng)等硬件條件的情況下,對噴嘴的孔徑、高度、結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化,開展爐內(nèi)流場、熱場模擬,使爐內(nèi)溫度和邊界層厚度不均勻性得到優(yōu)化。
1.2.1.2.2通過對9對棒還原爐內(nèi)進料配比和電流曲線進行分析,計算得出最適宜的工藝配方,提升硅棒沉積速率,提高沉積層致密度,降低電子級多晶硅棒的米花比例。
1.2.1.2.3提供項目實施階段的模擬軟件臨時許可使用權(quán)及相關(guān)培訓技術(shù)服務(wù)。
1.2.2項目工期:
合同生效后3個月內(nèi)提交供買方審核的初版技術(shù)方案;買方審核并出具修改意見后,于7日內(nèi)提供最終版技術(shù)方案。
1.3資金來源
本項目利用自有資金建設(shè),資金已落實。
1.4投標人資格
1.4.1法人地位
投標人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的,具有獨立法人和一般納稅人資格的多晶硅生長、單晶硅生長等專業(yè)領(lǐng)域定制化的模擬仿真軟件開發(fā)(或授權(quán))項目合作和技術(shù)咨詢服務(wù)企業(yè)或代理商。
本項目不接受聯(lián)合體投標,不允許轉(zhuǎn)讓及分包。
1.4.2商業(yè)信譽
投標人應(yīng)具有良好的商業(yè)信譽。不存在被列為失信被執(zhí)行人的情形,具體認定以信用中國網(wǎng)站檢索結(jié)果為準。
1.5業(yè)績
投標人在投標基準日期近五年內(nèi),具有至少1項在多晶硅還原、硅單晶生長等專業(yè)領(lǐng)域技術(shù)服務(wù)業(yè)績(附合同復印件)。
1.6招標文件的獲取
1.6.1招標文件發(fā)售方式
本項目實行在線售賣招標文件。凡有意參加投標者,請于購買招標文件時間內(nèi)進入報名參與購買招標文件,不接受現(xiàn)場購買。
1.6.2招標文件發(fā)售時間
2024年2月23日至2024年2月29日。